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          真空管式爐實際應用操作說明

          編輯:青島育豪微電子設備有限公司  時間:2019-09-27

          真空管式爐專門設計用于高溫、中溫、低溫CVD工藝。如ZnO納米結構的可控生長、氮化硅渡膜、陶瓷基片導電率測試、陶瓷電容器(MLCC)氣氛燒結等等。?窯爐采用氧化鋁纖維制品隔熱、保溫,優質硅鉬棒加熱,優質99剛玉管爐膛,氣體采用浮子流量計流量計控制。進口單回路智能溫度控制儀控制,有效的實現溫度的控制。設備具有溫度均勻、控制穩定、升溫速度快、節能、使用溫度高、壽命長等特點,是理想的科研設備。

          真空管式爐各獨立的加熱區均配備有熱電偶、數顯式智能調節器(PID)和可控硅組成的閉環控制系統,可實現自動控溫,操作起來也很方便。針對實驗的使用要求,裝卸料采用間歇式手動裝、卸料。裝料時將料盒放置在料盆支架上,打開并取出爐管一端的密封端蓋,放入帶料盒的料盒支架,再將密封端蓋安裝在爐管法蘭上并擰緊卡箍螺栓。然后通人工藝氣氛,直到爐管內氧含量達到工藝要求時進行升溫燒結。產品燒結工藝完成后,應繼續通人小量的工藝氣氛并進行降溫,直到爐內溫度低于工藝要求時,方可打開爐管密封端蓋取出產品。

          真空管式爐均系周期作業式。供實驗室、工礦企業、科研單位作元素分析測定和一般小型鋼件的淬火、退火、回火和電子陶瓷等新材料的加熱用。?真空管式爐的成套供應范圍有溫度控制器、熱電偶、補償導線等。溫度控制有繼電器控制、可控硅控制二種,由于是間歇式作業爐,一般都采用40段PlD高級可編程控制,能嚴格控制產品的燒制過程??蛇x擇進口單設定點或40段可編程控制器。

          真空管式爐安全功能包括可調過溫保護及開門切斷加熱的安全鎖系統。節能型的陶瓷纖維材料和雙層外殼結構,具有升降溫速度快,能耗低??蓪⑼獗頊囟冉档匠夭⑹沟脙惹粶囟确植季鶆?。高品質的加熱元件,使用壽命長。?選配:帶排氣口和惰性氣體通入口。40段可編程控制器型號可選擇RS-485串口,實現計算機通訊。

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