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          真空管式爐檢查和調試的方法與注意事項

          編輯:青島育豪微電子設備有限公司  時間:2019-08-29

                  真空管式爐入手后先對外觀質量進行檢查,確保外表面應光潔平整,無嚴重壓坑和機械碰傷。安裝完畢后,要確保良好的接地,真空爐安裝即可按下列項目進行調試與驗收。

                  主要外購的配套件說明書,合格證的檢查:如真空機組、磁性調壓器、電子電位差計、控溫微處理機、真空繼電器等。

                  真空管式爐的熱調試:

                  (1)在爐子真空度不低于13.3Pa的情況下通電烘爐,在爐溫緩慢升至1300℃的整個過程中,爐子真空度不應低于13.3Pa,經過充分烘烤 ,除氣后,壓升率達到技術要求時即可。

                  (2)工作真空度測量:不低于2.7Pa(在1000空爐時)。

                  (3)極限真空度測量:不低于6×1.0-4Pa。

                  (4)回充氣體調試:當冷卻室真空度為1.33Pa時,關閉真空 隔熱門、冷卻室真空閥,并立即向冷卻室爐充入氮氣0.06MPa時,時間應在 2.5(秒)完成,并且加熱室的真空度不得低于670Pa。

                  (5)壓升率測量:在真空爐加熱至1200℃時,經過充分烘烤除氣后,爐溫冷卻至100℃以下時再測壓升率,應達到0.5Pa/h。

                  真空管式爐冷爐的調試:

                  1、機械、氣壓、電氣聯動調試,調整工件傳送轉移時間≤25S,整個聯動在裝載200Kg的情況下,連續動作三次應協調平穩,準確可靠。

                  (1).真空隔熱門開啟或關閉行程時間調至≤8 S。

                  (2)工件車前進至加熱室行程時間調至12—15 S。

                  (3)工件車上升或下降行程時間調至≤3 S。

                  (4)工件車后退至冷卻室行程時間調至12—15 S。

                  (5)裝載200Kg進行聯動試驗,總行程時間為≤25 S連續動作應協調平穩,準確可靠。

                  2、氣冷風扇調試,轉速約1400r/min,轉動靈活,無異?,F象。

                  3、報警系統調試,應準確無誤,安全可靠。

                  4、測量絕緣電阻大于等于20千歐。

                  5、測量爐子冷態真空度,壓升率接近0.5Pa/h(可結合在熱調試中進行)。

                  以上就是真空管式爐的注意事項以及熱調試和冷調試的所有內容。

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