擴散爐類型說明

擴散爐有垂直擴散爐（vertical）和水平擴散爐（horizontal）兩種類型。

垂直擴散爐

垂直擴散爐是石英舟垂直于水平面，更加有利于機械手傳送硅片，片內工藝參數一致性更好。

水平擴散爐是石英舟平行于水平面，一臺可以4個或4個以上的工藝爐管，平均爐管的占地面積更小，片間的工藝參數較垂直擴散爐更好。