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          電話:400-0532-778
          擴散爐

          程控擴散爐

          程控擴散爐
          產品詳情:

          一.設備概述:  程控擴散爐采用儀表程序升溫控方式操作,該設備用于半導體等行業的3-4英寸工藝硅片擴散、氧化、退火、合金等工藝。 
           
           二.設備類型:

          方式:

          手動操作方式,小工作臺面

          可配工藝管數量:

          1-4管系統

          凈化臺潔凈度:

          1000級(10000級廠房)

          氣體流量控制:

          均用進口浮子流量計控制

          送取片方式:

          手動推拉

          使用類型:

          3-4寸爐管

          三.設備主要參數:

          工作溫度:

          300~1290℃

          爐管有效口徑:

          ¢150-190mm

          總功率:

          15-24KVA/管  保溫功率:6-10KVA/管

          三相五線制:

          380V±10%,50Hz±10%,次級線不小于35平方高溫線

          報警:

          具有超溫報警,斷偶報警,氣體互鎖等功能

          恒溫區長度及段數:

          400-1100mm(3-5段控溫)

          控溫精度:

          ±0.5℃(≧1000℃)

          單點溫度穩定性:

          ±1℃/72h

          控溫方式:

          高精度儀表程序控制

          熱偶類型:

          熱電偶采用K/S/R型,每管Spike 4-6支熱偶

          最大可控升溫范圍:

          (500~1285℃)0--15℃/min

          最大可控降溫范圍:

          (500~1285℃)0--10℃/min

          設備總外形尺寸:

          根據設備配置不同,尺寸有所不同

          四.主要構成:

          1、

          設備主機

          2、

          加熱系統

          3、

          排風冷卻系統

          4、

          排毒箱(和設備主機做為一體)

          5、

          控制系統

          1. 設備主要特點和優勢

           1★程序可以實現手/自動工作,在停電或中途停機后,再次啟動可以根據工藝手動升溫,節省工藝時間; 
           2★冷端采用PT100檢測環境溫度進行溫度補償,避免環境溫度變化,對爐膛溫度產生影響,避免層間干擾; 
           3★氣體流量控制精確,采用浮子流量計控制; 
           4★具有多種報警功能及安全保護功能;
          5★恒溫區手動調整,可準確控制反應管的實際工藝溫度;


          熱門標簽:程控擴散爐
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